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真空ポンプ
真空ポンプ
ルーツ真空ポンプ
関連メーカー:株式会社アンレット
ルーツ真空ポンプは、容積式で、ケーシングとロータに囲まれた容積を、回転速度に比例して排気します。
2軸は高速で、お互いに接触せずに回転しますので、油等の潤滑剤が不要で、ドライなガスを排気出来ます。
特徴
- 2ツ割ケーシングで分解・点検が容易
- 吐出側にオイルミスト飛散がない
- ロータシャフト一体型の多段ロータ
- 大気からの運転が可能
- 三葉ルーツロータで動バランス低騒音・低振動
- 軸封はドライシール
- 内部潤滑剤を使用せず、油の逆流が無い
- 凝縮性気体のドレン回収可能
- 磨耗が無く、長期連続運転が可能。簡単な維持管理
用途
- 真空蒸着
- 真空予冷
- 吸着搬送
- 蒸留
- 真空炉
- 真空濃縮
- 真空形成
- LED
- 真空乾燥
- 溶剤ベーパ回収
- PSA
- 真空冷却
- 真空パック
- 脱気・脱水・脱泡
CASES
導入事例
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導入事例01
- 真空乾燥炉
- 蒸着
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導入事例02
- 洗浄機用真空乾燥
- 炭化水素系洗浄機
- PCB回収プラント洗浄機
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導入事例03
- 真空予冷
- 野菜の冷却
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導入事例04
- 吸着搬送
- 液晶ガラスの吸着用
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導入事例05
- 溶剤ペーパ回収
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