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真空ポンプ

真空ポンプ

ルーツ真空ポンプ

ルーツ真空ポンプ

関連メーカー:株式会社アンレット

ルーツ真空ポンプは、容積式で、ケーシングとロータに囲まれた容積を、回転速度に比例して排気します。
2軸は高速で、お互いに接触せずに回転しますので、油等の潤滑剤が不要で、ドライなガスを排気出来ます。

特徴

  • 2ツ割ケーシングで分解・点検が容易
  • 吐出側にオイルミスト飛散がない
  • ロータシャフト一体型の多段ロータ
  • 大気からの運転が可能
  • 三葉ルーツロータで動バランス低騒音・低振動
  • 軸封はドライシール
  • 内部潤滑剤を使用せず、油の逆流が無い
  • 凝縮性気体のドレン回収可能
  • 磨耗が無く、長期連続運転が可能。簡単な維持管理

用途

  • 真空蒸着
  • 真空予冷
  • 吸着搬送
  • 蒸留
  • 真空炉
  • 真空濃縮
  • 真空形成
  • LED
  • 真空乾燥
  • 溶剤ベーパ回収
  • PSA
  • 真空冷却
  • 真空パック
  • 脱気・脱水・脱泡

CASES

導入事例

  • 導入事例01

    • 真空乾燥炉
    • 蒸着
    型式 FT6型
    型式 FT6型
  • 導入事例02

    • 洗浄機用真空乾燥
    • 炭化水素系洗浄機
    • PCB回収プラント洗浄機
    型式 FT6型
    型式 CT4-LE型
  • 導入事例03

    • 真空予冷
    • 野菜の冷却
    型式 FT6型
    型式 FT4-LE型
  • 導入事例04

    • 吸着搬送
    • 液晶ガラスの吸着用
    型式 FT6型
    型式 FT3型
  • 導入事例05

    • 溶剤ペーパ回収
    型式 FT6型
    型式 FT4-LE型